Oblea de carburo de silicio unida por reacción

1. Nuestro barco de obleas SIC tiene una alta conductividad térmica.
2. Nuestra obleas SIC tiene una alta dureza, superada solo por el diamante y el nitruro de boro cúbico.
3. Nuestro barco de obleas SIC es resistente a la corrosión, los ácidos fuertes y los álcalis fuertes no lo corroerán, y su resistencia a la corrosión es mejor que el carburo de tungsteno y el óxido de aluminio;

  • STARLIGHT
  • Shenyang, China
  • En función de la cantidad solicitada por producto
  • 500t/año

Detalles

Introducción a la nave de obleas de carburo de silicio unidas por reacción:

En los últimos años, las industrias de semiconductores y fotovoltaica se han desarrollado rápidamente, la escala de la industria ha aumentado rápidamente, los equipos de fabricación han seguido evolucionando hacia la precisión y la complejidad, y ha habido un aumento de los requisitos técnicos y las demandas de localización para los componentes clave de la cerámica de alta precisión. Es una nueva oportunidad de desarrollo y un punto de inflexión para las empresas de fabricación de carburo de silicio.

Las navecillas de obleas de carburo de silicio han surgido como una solución superior para los procesos industriales de alta temperatura, en particular en la fabricación de semiconductores, la metalurgia y la sinterización avanzada de cerámica. Estos componentes combinan las propiedades excepcionales del carburo de silicio con un diseño innovador, lo que ofrece ventajas distintivas sobre las alternativas tradicionales de cerámica o grafito.

1. Estabilidad térmica y mecánica excepcional

Las obleas de silicio monocristalino presentan una resistencia excepcional a los choques térmicos y mantienen su integridad estructural incluso cuando se las somete a fluctuaciones rápidas de temperatura de hasta 1380 °C. Esta estabilidad se debe al bajo coeficiente de expansión térmica del carburo de silicio (4,0 × 10⁻⁶/°C) combinado con el proceso de unión por reacción que minimiza las tensiones internas. A diferencia de las obleas de grafito convencionales que se degradan por encima de los 500 °C en entornos oxidativos, los componentes de las obleas de silicio monocristalino demuestran una excelente resistencia a la oxidación, lo que garantiza la longevidad en ciclos repetidos de alta temperatura.

2. Diseño optimizado para la eficiencia del proceso

La configuración de tres postes mejora la uniformidad térmica en aplicaciones críticas como los procesos de difusión y la deposición química en fase de vapor (CVD). Los postes simétricos garantizan una distribución uniforme del calor, lo que reduce los gradientes de temperatura a menos de 5 °C en toda la longitud de la nave. Este diseño también minimiza la deformación de las obleas durante el procesamiento de semiconductores, lo que mejora las tasas de rendimiento hasta en un 15 % en comparación con las naves de fondo plano. La estructura abierta facilita una mejor dinámica del flujo de gas, lo que mejora la consistencia del proceso en hornos con atmósfera controlada.

3. Inercia química superior

La naturaleza no reactiva de las obleas de carburo de silicio las hace ideales para manipular materiales corrosivos. Con una porosidad inferior al 0,5 % lograda mediante el proceso de unión por reacción, estas obleas demuestran una resistencia notable a los fundentes ácidos/alcalinos y a los metales fundidos. En la fabricación de células solares, esta propiedad evita la contaminación metálica (por ejemplo, aluminio o plata), lo que mantiene la pureza de las obleas con niveles de impurezas por debajo de 1 ppb.

Nuestra empresa puede producir actualmente tubos de gran diámetro, tubos de pared delgada, hélices en voladizo, obleas de carburo de silicio unidas por reacción, etc.

Silicon Carbide Wafer Boat

Ventajas de la oblea de carburo de silicio unida por reacción:

1. Nuestras naves de obleas SIC son resistentes a altas temperaturas, desgaste y fluencia;

2.Nuestro SICLas embarcaciones de obleas tienen una alta resistencia al impacto y una larga vida útil;

3. Nuestras naves de obleas SIC tienen alta densidad y se pueden personalizar según las necesidades del cliente;


Garantía de calidad y control de calidad:

Para satisfacer la demanda de los clientes de los productos de nuestra empresa, cada proceso de producción se controla estrictamente desde el momento en que las materias primas ingresan a la fábrica. Todos los productos se inspeccionan estrictamente antes de salir de la fábrica. Basándonos en nuestro sistema de gestión, nuestra inspección y control de la calidad de los productos cumplen con los estándares de la industria y de la empresa.

Reaction bonded silicon carbide wafer boat

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