Shenyang Starlight Advanced Ceramics entrega con éxito naves de tres postes de carburo de silicio de 8 pulgadas para el procesamiento de obleas de semiconductores.

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., un fabricante líder de productos de carburo de silicio con más de 30 años de experiencia en la industria, ha logrado recientemente un hito significativo al desarrollar y entregar con éxito naves de tres postes de carburo de silicio de 8 pulgadas especializadas para aplicaciones de tratamiento térmico de obleas de semiconductores.

Avance en la tecnología de procesamiento de obleas

El nuevo desarrollo de 8 pulgadascarburo de silicioLas embarcaciones de tres postes representan un gran avance en la tecnología de manipulación de obleas, diseñadas específicamente para:

• Procesamiento a alta temperatura de obleas semiconductoras de 200 mm

• Distribución térmica uniforme durante los pasos críticos de fabricación

• Reducción de los riesgos de contaminación en entornos de salas blancas

Superioridad técnica

Estas embarcaciones diseñadas con precisión cuentan con:

• Pureza ultraaltacarburo de siliciomaterial (99,99% de pureza)

• Diseño optimizado de tres postes para un contacto mínimo con la oblea

• Excepcional resistencia al choque térmico (soporta cambios rápidos de temperatura de hasta 1400 °C)

• Inercia química superior frente a gases de proceso corrosivos

Satisfacer las demandas de la industria

"Nuestro 8 pulgadascarburo de silicio"Las naves de tres postes abordan la creciente necesidad de la industria de semiconductores de portadores de obleas confiables y de alto rendimiento", dijo el Dr. Li, Director de Tecnología. "Ofrecen ventajas significativas sobre los portadores de cuarzo tradicionales, incluyendo una vida útil más larga y una mejor estabilidad térmica".

Proceso de desarrollo riguroso

El desarrollo del producto implicó:

• 18 meses de intensa I+D

• Colaboración con los principales fabricantes de semiconductores

• Más de 200 pruebas de ciclo térmico

• Medidas estrictas de control de la contaminación por partículas

Seguro de calidad

Cada unidad se somete a:

• Verificación de precisión dimensional (tolerancia de ±0,02 mm)

• Prueba de rugosidad superficial (Ra < 0,2 μm)

• Inspección visual integral

• Limpieza final y envasado en sala limpia clase 100

Aplicaciones

Las embarcaciones se utilizan actualmente para:

• Procesos de difusión

• Tratamientos de recocido

• Procesos de oxidación

• Aplicaciones de CVD

Desarrollos futuros

Basándose en este éxito, Shenyang Starlight ahora está desarrollando:

• Versión de 12 pulgadas para tamaños de obleas de próxima generación

• Diseños personalizados para requisitos de procesos específicos

• Recubrimientos avanzados para aplicaciones especializadas

Compromiso de la empresa

"Como empresa con tres décadas de experiencia en cerámica, seguimos comprometidos a superar los límites de la tecnología de materiales semiconductores", agregó el Dr. Li. "Este lanzamiento de producto demuestra nuestra capacidad para desarrollar soluciones que cumplan con los requisitos más exigentes de la industria".