Shenyang Starlight Advanced Ceramics alcanza un hito en la fabricación de semiconductores con tubos de revestimiento de precisión de 451 mm de diámetro exterior para el procesamiento de obleas de 12 pulgadas.

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., pionera en la fabricación de carburo de silicio con más de tres décadas de experiencia, ha logrado recientemente un avance significativo al entregar con éxito tubos de revestimiento especializados de 451 mm de diámetro exterior (DE) para procesos de fabricación de obleas semiconductoras de 12 pulgadas. Este logro subraya el liderazgo de la compañía en el desarrollo de componentes cerámicos críticos para la industria global de semiconductores. Los nuevos tubos de revestimiento, diseñados específicamente para aplicaciones de procesamiento de obleas a alta temperatura, presentan un diámetro exterior de brida optimizado de 451 mm, diseñado para cumplir con los estrictos requisitos de los equipos avanzados de fabricación de semiconductores. Utilizando carburo de silicio de pureza ultraalta (≥99,999 %) con una estabilidad térmica excepcional (rango de funcionamiento: de temperatura ambiente a 1450 °C), estos...tubos de revestimiento Los componentes garantizan una expansión térmica mínima (coeficiente de 4,0 × 10⁻⁶/K) y una resistencia superior a los gases de proceso corrosivos, lo que permite un rendimiento constante en procesos de oxidación, difusión y deposición química de vapor (CVD). La ingeniería de precisión de los tubos de revestimiento garantiza tolerancias dimensionales de ±0,05 mm y una rugosidad superficial inferior a Ra 0,1 μm, crucial para mantener la integridad de las obleas y reducir el riesgo de contaminación por partículas en entornos de salas blancas.

El tubos de revestimientoEl proceso de desarrollo implicó 18 meses de rigurosa colaboración en I+D con fabricantes líderes de semiconductores, incorporando análisis avanzado de elementos finitos (FEA) para optimizar la dinámica del flujo de gas y la uniformidad térmica en todo el diámetro interior de 300 mm. Más de 500 pruebas de ciclos térmicos validaron el...tubos de revestimiento' durabilidad bajo fluctuaciones rápidas de temperatura, mientras que las técnicas de sinterización patentadas garantizarontubos de revestimiento Integridad estructural a temperaturas extremas. La producción se realiza en salas blancas ISO Clase 5, y cada unidad se somete a un control exhaustivo. tubos de revestimientoControles de calidad, incluyendo pruebas de fugas de helio, análisis de gases residuales (RGA) y validación metrológica mediante escáneres láser y máquinas de medición por coordenadas (MMC). Los pioneros en la producción de chips de memoria y lógica avanzada han reportado una reducción del 35% en el tiempo de inactividad del horno y una mejora del 20% en el rendimiento de las obleas en comparación con los revestimientos de cuarzo tradicionales, gracias a la inercia química inherente del material y a la reducción de sus requisitos de mantenimiento.

Este tubos de revestimientoLa innovación responde a la creciente demanda de la industria de semiconductores de obleas de mayor tamaño y una mayor consistencia en los procesos, especialmente a medida que los fabricantes migraron a nodos sub-5 nm. El diseño de 451 mm de diámetro exterior permite una integración perfecta con hornos verticales de nueva generación, mientras que los niveles ultrabajos de impurezas metálicas del material (<0,1 ppb) previenen la contaminación por dopantes en procesos sensibles. Más allá de las aplicaciones actuales, Shenyang Starlight desarrolla activamente soluciones inteligentes.tubos de revestimientoPrototipos con sensores integrados para la monitorización de temperatura en tiempo real y sistemas de gestión térmica adaptativa compatibles con los ecosistemas de fabricación de la Industria 4.0.

Con un legado de 30 años y más de 2000 asociaciones exitosas con clientes, Shenyang Starlight continúa impulsando la innovación en cerámica de alto rendimiento, combinando la excelencia en la ciencia de los materiales con la ingeniería de precisión para resolver los desafíos más complejos de la industria de los semiconductores.